在進步芯片得片率的一起,大尺度襯底還能進步單機芯片產出。因為MOCVD設備報價非常貴重,所以進步單機芯片產值也是下降LED芯片本錢的首要路徑之一。選用大尺度襯底能夠大幅進步每個次序的芯片產值,選用6英寸襯底每個次序的芯片產值比2英寸襯底進步55%。
在此基礎上,我們選用改良KY法技能,突破了傳統的C向長晶法,http://www.fssuifeng.cn 不光將商品做到了大公斤等級,并且晶體質量到達A向長晶同等乃至更優水平。經過對90kg晶體系統的測驗及客戶的反應發現,晶體的功能一致性及穩定性好,開爐合格率高達85%以上,位錯密度區別很小。
A向長晶,C向掏棒,襯底每個點上的成長時間跨度大,張力和應力相差也較大;C向長晶,C向掏棒,襯底上張力和應力都較小。實驗標明,改良KY法 90kg晶體制造的襯底磊晶過程中彎曲度和翹曲度表現優于A向長晶。一起,晶棒最長可超越300mm,關于多線切割機來說正巧匹配,無需進行多根晶棒粘結,大大進步切片功率及一致性,節省了本錢。
當前,C向長晶最大已經能制造12英寸C向襯底及部件,能夠大幅提高LED外延芯片的出產功率和本錢競爭力。 斯諾光電:http://www.fssuifeng.cn